모두CBT
전극 재료를 제조하기 위해 전극 재료를 선택하고자 할 때의 조건으로 틀린 것은?
비저항이 클 것
Si02와 밀착성이 우수할 것
산화 분위기에서 내식성이 클 것
금속규화물의 용융점이 웨이퍼 처리 온도보다 높을 것
내용에 오류가 있거나 최신 법령·기준과 다른 부분이 보이면 알려주세요. 확인 후 반영하겠습니다.