다음 중 에피택셜(epitaxial) 성장이란? | [전자기사 필기] 15년 2회차 기출문제 상세 페이지
1[전자기사 필기] 15년 2회차
다음 중 에피택셜(epitaxial) 성장이란?
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다결정의 Ge 성장
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다결정의 Si 성장
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기판에 매우 얇은 단결정의 성장
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기판에 매우 얇은 다결정의 성장
해설
에피택셜 성장이란 기판 위에 매우 얇은 단결정을 성장시키는 것이다.
기판 결정의 격자 방향을 이어받아 같은 결정 구조의 얇은 단결정층을 쌓는 기술이며, 성장 중 불순물 농도를 조절해 층마다 도핑을 달리할 수 있다.
- 다결정 Ge 성장은 결정 방향이 정렬된 단결정층이 아니므로 에피택시가 아니다.
- 다결정 Si 성장도 마찬가지로 단결정층이 아니므로 에피택시가 아니다.
- 기판 위 다결정 성장은 기판 결정을 이어받지 못하므로 에피택시가 아니다.
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