다음 중 에피택셜(epitaxial) 성장이란? | [전자기사 필기] 22년 1회차 기출문제 상세 페이지
1[전자기사 필기] 22년 1회차
다음 중 에피택셜(epitaxial) 성장이란?
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다결정의 Ge 성장
2
다결정의 Si 성장
3
기판에 매우 얇은 단결정의 성장
4
기판에 매우 얇은 다결정의 성장
해설
에피택셜 성장은 기판 위에 매우 얇은 단결정층을 성장시키는 것이다.
기판의 결정 방향을 그대로 이어받아 결정 구조가 연속된 층이 자라며, 집적회로에서 소자를 만들 층을 형성하는 데 쓰인다.
다결정 성장은 결정 방향이 이어지지 않으므로 에피택셜 성장이 아니다.
- 다결정의 Ge 성장은 단결정이 아니므로 에피택셜 성장이 아니다.
- 다결정의 Si 성장은 단결정이 아니므로 에피택셜 성장이 아니다.
- 기판에 매우 얇은 다결정의 성장은 기판 결정을 이어받지 않으므로 에피택셜 성장이 아니다.
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