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1[온실가스관리기사 필기] 14년 1회차
다음 ( )안에 옳은 내용은? (단, 온실가스 에너지목표관리 운영 등에 관한 지침 기준)
여러 가지 고급 전자산업에서는 플라즈마 식각, 반응 쳄버의 세정 및 온도조절을 위한 ( )이 이용되며 이런 전자산업으로는 반도체, 박막 트랜지스터 평면 디스플레이, 광전지, 제조업 등이 포함된다.
1
백금 화합물
2
질소 화합물
3
불소 화합물
4
구리 화합물
해설
반도체·디스플레이 등 전자산업 공정에서는 웨이퍼를 미세하게 깎아내는 플라즈마 식각, 공정 중 챔버 내벽에 쌓인 부산물을 걷어내는 반응 챔버 세정, 그리고 장비의 온도조절(열전달 유체)에 불소 화합물이 쓰인다. CF4·C2F6 같은 과불화탄소(PFCs), 삼불화질소(NF3), 육불화황(SF6) 등이 대표적이다.
이 물질들은 공정에서 전부 소모되지 않고 미반응분이 그대로 대기로 나가는 데다, 대기 중 수명이 수천 년에 이르고 지구온난화지수가 CO2의 수천~수만 배에 달한다. 그래서 지문이 열거한 반도체, 박막 트랜지스터 평면 디스플레이, 광전지, 제조업이 전자산업 온실가스 배출량 산정의 주요 대상 업종이 된다.
백금 화합물이나 구리 화합물은 촉매·배선 재료일 뿐 온실가스가 아니며, 질소 화합물이라는 분류로도 이 공정가스들을 묶을 수 없다. 질소를 품은 NF3조차 온실가스 목록에서는 불소를 가진 물질군으로 다루어진다.
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