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1[금속재료기사 필기] 16년 1회차
진공증착, 스퍼터링, 이온도금으로 제조된 박막의 특성을 설명한 것 중 틀린 것은?
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이온도금으로 제조된 박막의 부착강도가 가장 크다.
2
스퍼터링으로 제조된 박막의 도금속도가 가장 빠르다.
3
진공증착으로 박막을 제조할 때 기판의 온도 상승이 가장 작다.
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진공증착과 이온 금으로 제조된 박막의 도금속도는 거의 비슷하다.
해설
'스퍼터링으로 제조된 박막의 도금속도가 가장 빠르다'는 틀렸다. 박막 제조 기술의 특성을 비교하면, 스퍼터링의 도금속도는 진공증착이나 이온도금보다 훨씬 느리다. 스퍼터링은 타겟 원자가 운동에너지를 받아 하나씩 방출되는 방식이므로 증착 속도가 매우 낮다.
- 진공증착과 이온도금의 도금속도: 진공증착은 열에너지로 원자를 증발시키고, 이온도금은 가속된 이온 빔으로 고속 증착이 가능해 두 방법이 상대적으로 빠르다.
- 이온도금의 부착강도: 이온도금은 고에너지 입사 이온으로 기판에 강력한 충격을 주어 부착강도가 가장 우수하고, 기판 온도 상승도 크다.
- 진공증착의 기판 온도: 진공증착은 열원이 멀고 증발 방식이라 기판 온도 상승이 가장 작다.
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