플라즈마 CVD 방법으로 코팅하는 이유가 아닌 것은? | [금속재료기사 필기] 19년 1회차 기출문제 상세 페이지
1[금속재료기사 필기] 19년 1회차
플라즈마 CVD 방법으로 코팅하는 이유가 아닌 것은?
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밀착력의 향상을 위해
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Aspect Ratio를 높이기 위해
3
소지금속의 변형을 예방하기 위해
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저온에서 코팅이 가능하게 하기 위해
해설
플라즈마 CVD는 저온(100~300°C)에서 작동하므로 소지금속의 변형을 막을 수 있고, 이온 충돌에 의한 밀착력 향상이 특징이며, 플라즈마 환경에서 화학반응이 활성화되어 코팅이 가능하다. Aspect Ratio(높이/폭의 비)를 높이는 것은 식각(Etching)이나 깊은 구멍 형성 공정의 목적이며, 코팅 두께를 균일하게 형성하는 CVD의 특성과는 무관하다.
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