전자현미경에 프로브의 크기는 전자선의 회절효과와 렌즈의 수차에 따라서 … | [금속재료기사 필기] 19년 2회차 기출문제 상세 페이지

초점수차(defocus)는 렌즈의 결함이 아니라 렌즈와 시료 간의 거리 조절에 관한 것으로, 사용자가 초점을 맞추는 과정에서 발생하는 것이지 광학계의 구조적 결함이 아니다.
전자현미경의 렌즈 수차는 전자광학 렌즈의 구조적 결함으로 인해 발생하는 광학 왜곡이며, 다음은 모두 렌즈 자체의 결함에서 비롯된다.
색수차(chromatic aberration): 에너지가 다른 전자들이 다른 초점거리를 갖는 현상
구면수차(spherical aberration): 렌즈의 중심과 주변부를 지나는 전자의 초점이 다른 현상
비점수차(astigmatism): 상하·좌우 방향의 초점거리가 다른 현상