모두CBT
질소용 mass flow controller를 헬륨에 사용하였다. 예측 가능한 결과는?
질량유량에는 변화가 있으나 부피 유량에는 변화가 없다.
지시계는 변화가 없으나 부피유량은 증가한다.
입구압력을 약간 낮춰주면 동일한 유량을 얻을 수 있다.
변화를 예측할 수 없다.
내용에 오류가 있거나 최신 법령·기준과 다른 부분이 보이면 알려주세요. 확인 후 반영하겠습니다.