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1[9급 서울시 공업화학] 15년 1회차
반도체 박막제조에 이용되는 스퍼터링(sputtering)법의 장점이 아닌 것은?
1
웨이퍼 전 면적에 걸친 고른 박막의 증착이 가능하다.
2
다른 불순물에 의한 오염가능성이 적다.
3
박막의 두께 조절이 용이하다.
4
합금물질을 증착하기 위한 많은 표적물질(target)들이 있다.
해설
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