다음 중 반도체 박막 제조에 이용되는 스퍼터링법에 대한 장점으로 가장 … | [해양경찰 무기공업화학] 26년 2회차 기출문제 상세 페이지

옳지 않은 것은 대면적·연속공정·동시다중 증착이 불가능하다는 내용이다. 이 공정들이 가능하다는 것이 스퍼터링의 장점이다.
스퍼터링은 플라스마의 이온으로 타깃을 때려 튀어나온 입자를 기판에 쌓는 물리적 증착법이다. 타깃을 크게 하거나 여러 개 쓰는 방식으로 공정 확장이 쉽다.
결합 에너지와 부착력: 입자가 큰 운동에너지로 기판에 도달하므로 막의 부착력이 우수하다.
고 융점 재료의 증착: 재료를 녹이지 않고 충돌로 떼어내므로 고융점 금속·합금·내화물도 증착할 수 있다.
공정 제어성: 공정이 안정적이어서 막질과 막 두께를 제어하기 쉽다.