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1[해양경찰 무기공업화학] 25년 1회차
다음 <보기>는 실리콘(Si) 단결정의 제조방법이다. 무엇에 관한 설명인가?<보기>
• 미리 제조된 고순도 다결정의 실리콘을 도가니에 넣고 가열·용융시킨 후 종자결정을 담근 뒤 서서히 잡아올려 단결정을 제조하는 방법
1
플롯존(float zone)법
2
냉각도가니(cold crucible)법
3
초크랄스키(Czochralski)법
4
화학기상증착(CVD)법
해설
도가니의 용융 실리콘에 종자결정을 담가 서서히 끌어올리는 방법은 초크랄스키(Czochralski)법이다.
핵심은 도가니 용융과 종자결정 인상이며, 이 조합이 초크랄스키법의 특징이다.
- 플롯존법: 도가니 없이 막대의 좁은 용융대를 이동시켜 단결정을 만든다.
- 냉각도가니법: 도가니 벽을 냉각해 용융물과의 접촉 오염을 줄이는 용융 기술로, 종자결정 인상을 가리키는 이름이 아니다.
- 화학기상증착법: 기체 원료로 기판 위에 막을 쌓는 방법이다.
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