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1[7급 국가직 기계공작법] 26년 1회차
마이크로 전자 기기를 위한 실리콘 웨이퍼 반도체 산업의 주요 공정 중 하나인 단결정 성장 공정은?
1
원심주조(centrifuging)
2
다이캐스팅(die casting)
3
진공주조(vacuum casting)
4
결정 인상법(crystal-pulling method)
해설

반도체용 실리콘 단결정 잉곳은 결정 인상법(초크랄스키법)으로 성장시킨다.

용융 실리콘에 종자 결정(seed)을 담갔다가 회전시키며 천천히 끌어올리면, 종자의 결정 방위를 따라 단결정이 성장한다.

  • 원심주조는 회전하는 주형의 원심력으로 관·링 등 중공 주물을 만드는 공정이다.
  • 다이캐스팅은 금형에 용탕을 고압으로 주입하는 대량생산용 주조법이다.
  • 진공주조는 진공 분위기로 가스 혼입을 줄이는 주조법으로, 단결정 성장 공정이 아니다.

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