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반도체 소자 제조의 식각 공정에 사용되는 기체가 아닌 것은? | [9급 지방직 공업화학] 25년 1회차 기출문제 상세 페이지

1[9급 지방직 공업화학] 25년 1회차
반도체 소자 제조의 식각 공정에 사용되는 기체가 아닌 것은?
1
Cl2\mathrm{Cl_2}
2
HBr
3
PH3\mathrm{PH_3}
4
SF6\mathrm{SF_6}
해설
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