반도체 포토리소그래피(photolithography) 공정에 대한 설명… | [9급 지방직 공업화학] 26년 1회차 기출문제 상세 페이지
1[9급 지방직 공업화학] 26년 1회차
반도체 포토리소그래피(photolithography) 공정에 대한 설명으로 옳지 않은 것은?
1
마스크에 설계된 패턴을 웨이퍼로 옮기는 공정이다.
2
감광제는 자외선을 조사하면 결합 구조가 변한다.
3
양성감광제는 자외선이 조사되지 않은 부분이 현상액에 의해 제거된다.
4
패턴의 구조가 작아질수록 양성감광제가 음성감광제보다 유리하다.
해설
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