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1[9급 지방직 공업화학] 23년 1회차
웨이퍼 표면 위에 스핀 코팅(spin coating)을 통해 감광제를 도포하였다. 목표한 두께에 비해 도포된 감광제층이 얇을 경우 이를 개선하기 위한 방법은?
1
웨이퍼의 반경을 늘린다.
2
감광제 용액의 점도를 낮춘다.
3
웨이퍼의 회전속도를 낮춘다.
4
감광제 용액 내 고형분의 함량을 낮춘다.
해설
감광제층을 두껍게 하려면 웨이퍼의 회전속도를 낮춘다.
스핀 코팅에서는 원심력이 용액을 바깥으로 밀어내므로, 회전이 빠를수록 막이 얇아지고 느릴수록 두꺼워진다. 막 두께는 회전속도·점도·고형분 함량에 주로 좌우된다.
- 웨이퍼의 반경을 늘려도 막을 두껍게 하는 효과가 없다. 막 두께는 크기보다 회전 조건과 용액 성질로 정해진다.
- 점도를 낮추면 용액이 더 잘 퍼져 나가 막이 더 얇아진다.
- 고형분 함량을 낮추면 건조 후 남는 감광제가 줄어 막이 더 얇아진다.
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