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가열된 기판 위에 코팅하고자 하는 피막의 성분을 포함한 원료의 혼합 가스를 접촉시켜 기상 상세 페이지

1[금속재료산업기사 필기] 13년 1회차
가열된 기판 위에 코팅하고자 하는 피막의 성분을 포함한 원료의 혼합 가스를 접촉시켜 기상 반응에 의하여 표면에 금속, 탄화물, 질화물 등의 다양한 피막을 생성시키는 처리는?
1
스퍼터링
2
화학 증착법
3
진공 증착법
4
이온 플레이팅
해설
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