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펌핑공정의 용어 설명 중 배기방출(Bake-out)이란?
펌핑공정 중에 진공 시스템의 압력에 의하여 가스가 방출되는 현상
펌핑공정 중에 진공 시스템의 열에 의하여 가스가 방출되는 현상
진공 시스템에서 모든 가스가 방출되는 현상
펌핑공정 중에 진공 시스템의 부적합한 가스에 의하여 방출되는 현상
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