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배기방출(bake-out)이란?
펌핑 공정 중 진공 시스템의 열에 의하여 가스가 방출되는 현상
펌핑 공정 중 진공 시스템의 압에 의하여 가스가 방출되는 현상
펑핑 공정 중 진공 시스템의 부적합한 가스에 의하여 방출되는 현상
진공 시스템에서 모든 가스가 방출되는 현상
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