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icp광원 사용 장점1. 플라즈마 광원의 높은 온도로 인해 원자화 효율이 좋고, 원자 상호간 화학적 방해가 없다2. 아르곤의 이온화로 전자 밀도가 풍부하여 시료의 이온화로 인한 방해가 거의 없다3. 플라즈마 단면의 온도 분포가 균일하여 자체 반전이나 자체 흡수가 없으므로 넓은 선형 측정 범위를 갖는다4. 염소 브로민 아이오딘 및 황과 같은 비금속 원소들도 측정 가능하다

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