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일반적으로 사용되는 진공계중 정밀도가 가장 좋은 것은?
격막식 탄성 진공계
열음극 전리 진공계
맥로드 진공계
피라니 진공계
열음극 전리진공계는 가열된 음극에서 방출된 열전자가 기체 분자를 이온화시키는 정도로 압력을 재는 방식으로, 초고진공 영역까지 측정할 수 있어 제시된 진공계 중 정밀도가 가장 좋다.
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