온실가스ㆍ에너지 목표관리 운영 등에 관한 지침상 전자산업에서 화확기상증… | [온실가스관리기사 필기] 18년 2회차 기출문제 상세 페이지
1[온실가스관리기사 필기] 18년 2회차
온실가스ㆍ에너지 목표관리 운영 등에 관한 지침상 전자산업에서 화확기상증착시설(CVD)의 공정배출로 배출되는 온실가스의 종류로 거리가 먼 것은?
1
CF4
2
CH4
3
CHF3
4
C3F8
해설
전자산업의 화학기상증착시설(CVD)에서는 박막 증착 후 챔버 세정 등에 과불화탄소(PFCs)ㆍ수소불화탄소(HFCs) 계열 가스가 주로 사용되며, 이 과정에서 CF₄, C₃F₈, CHF₃ 등이 공정배출 온실가스로 보고된다.
반면 CH₄(메탄)은 CVD 공정의 세정ㆍ반응가스로 통상 사용되지 않아 전자산업 CVD 시설의 공정배출 온실가스 목록과는 거리가 멀다.
따라서 CVD 공정배출 온실가스 종류로 거리가 먼 것은 CH₄이다.
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