온실가스ㆍ에너지 목표관리 운영 등에 관한 지침상 전자산업의 보고대상 배… | [온실가스관리기사 필기] 19년 2회차 기출문제 상세 페이지

전자산업(반도체 등)에서 PFCs, SF6 등 온실가스가 주로 배출되는 공정은 회로 패턴을 깎아내는 식각 공정과 박막을 입히는 증착 공정이다. 이들 공정에서 불소계 가스를 반응가스나 세정가스로 사용하기 때문이다.
산화·노광 공정은 반도체 제조의 주요 단계이기는 하지만 불소계 온실가스 사용과 직접 결부되어 보고대상으로 지정된 공정은 아니므로, 식각과 증착을 짝지은 조합이 옳다.