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1[온실가스관리기사 필기] 21년 1회차
다음 ( )에 가장 적합한 내용은?전자산업에서는 플라즈마 식각, 반응챔버의 세정 및 온도조절을 위해 ( )이 이용되며, 이런 전자산업으로는 반도체, 박막 트랜지스터 평면디스플레이, 광전지 제조업 등이 포함된다.
1
백금화합물
2
질소화합물
3
불소화합물
4
구리화합물
해설
빈칸은 불소화합물이다. 반도체, 박막 트랜지스터 평면디스플레이(TFT-LCD), 광전지 제조 공정에서는 산화막을 깎아내는 플라즈마 식각과 공정 중 챔버 내벽에 쌓인 부산물을 걷어내는 반응챔버 세정에 CF4, C2F6, CHF3, NF3, SF6 같은 불소계 가스가 사용되며, 온도조절용 열전달 유체로도 과불화화합물 계열이 쓰인다.
이들 가스는 플라즈마 안에서 일부만 분해되고 남은 양이 그대로 대기로 빠져나간다. 대기 중 수명이 길고 지구온난화지수(GWP)가 이산화탄소의 수천~수만 배에 이르기 때문에, 사용량 자체는 적어도 이산화탄소환산량으로 환산하면 배출량이 크게 잡힌다.
그래서 전자산업은 PFCs·HFCs·SF6·NF3 같은 불소계 온실가스가 주된 배출원인 대표 업종으로 분류되며, 산정방법론도 이 가스들을 대상으로 짜여 있다. 질소화합물이나 백금·구리화합물은 식각·세정용 공정가스로 이런 역할을 하지 않는다.
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