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1[온실가스관리기사 필기] 22년 1회차
온실가스 배출권거래제의 배출량 보고 및 인증에 관한 지침에 따라 Tier 1 산정방법론으로 반도체 제조공정의 FC 가스 배출량을 구하고자 한다. 이 때 활용되는 다음 식에서 Qi의 의미는? (단, FCgas는 FC 가스의 배출량, EFFC는 배출계수임)
1
원료투입량(kg)
2
FC 가스주입량(m3/y)
3
제품생산량(t/y)
4
제품생산실적(m2/y)
해설
반도체·디스플레이 공정의 FC(불소화합물) 가스 배출량을 구하는 Tier 1 식 FCgas = Qi × EFFC는 활동자료 × 배출계수라는 기본 구조를 그대로 따른다. 따라서 Qi가 무엇인지는 배출계수 EFFC의 단위가 결정한다.
Tier 1에서 쓰는 기본배출계수는 가스별 사용량 자료가 없는 업체도 쓸 수 있도록 기판(웨이퍼) 단위 면적당 배출량 형태로 주어진다. 그러므로 여기에 곱해질 활동자료는 같은 차원인 면적 기준의 제품생산실적(m2/y)이어야 배출량 단위가 성립한다. 즉 Tier 1은 실제 가스 사용량이 아니라 생산규모만으로 배출량을 추정하는 방법론이다.
가스 주입(사용)량을 활동자료로 삼고 분해율·잔류율 등을 반영하는 것은 Tier 2 이상의 방법이며, 원료투입량(kg)이나 질량 기준 제품생산량(t/y)은 면적당으로 주어진 기본배출계수와 단위가 맞지 않아 이 식의 활동자료가 될 수 없다.
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