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온실가스 배출권거래제의 배출량 보고 및 인증에 관한 지침상 “기체, 액체 또는 고체 상태의 원료화합물을 반응기 내에 공급하여 기판 표면에서의 화학반응을 유도함으로써 반도체 기판 위에 고체 반응생성물인 박막층을 형성하는 공정”으로 반도체 제조에 주로 사용되는 공정은?
식각공정
화학기상증착공정
성형공정
세정공정
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