고분해능 영상촬영 조건 상세 페이지

1. 탐침의 직경을 작게한다

2. 전류량을 크게한다

3. 전자총에서 나오는 전자빔을 가늘게 한다

4. 대물렌즈와 시료표면 사이 작동거리를 짧게한다

5. 편향기를 이용하여 전자빔 중심궤도가 대물렌즈 중심을 지나도록 한다