모두CBT
전극재료의 선택 조건을 설명한 것 중 틀린 것은?
비저항이 작아야 한다.
Al과의 밀착성이 우수해야 한다.
산화 분위기에서 내식성이 커야 한다.
금속 규화물의 용융점이 웨이퍼 처리 온도보다 낮아야 한다.
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