모두CBT
플라즈마 CVD에 대한 설명으로 틀린 것은?
화학적 기상도금보다 속도가 느리다.
폴리머와 같이 고온에서 불안정한 기지 위에 금속코팅이 가능하다.
열에너지가 아닌 천이 된 전자에 의하여 반응가스가 활성화 된다.
열CVD법에 비하여 기지의 온도가 낮은(300°C 이하) 상태에서 밀착성이 우수한 피막을 얻는다.
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