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1[금속재료기사 필기] 21년 2회차
주사전자현미경에는 이차전자를 사용하는 이미징 기술 이외에 후방산란전자를 사용하는 이미징 기술이 있다. 이차전자를 사용할 때는 알 수 없지만, 후방산란전자를 사용해야만 알 수 있는 시료의 정보는?
1
시료 내의 조성 차이
2
시료 내의 결정구조 차이
3
시료의 기공도 차이
4
시료 표면의 높고 낮음의 차이
해설
후방산란전자(BSE) 이미징은 원자번호가 높을수록 산란 신호가 강해지는 원리를 이용하므로 시료 내 원소 조성의 차이를 명확히 구분할 수 있다. 반면 이차전자(SE)는 주로 시료 표면의 형태학적 정보(높낮이, 기공도, 결정구조에 따른 식각 패턴 등)를 제공하므로 조성 차이 자체는 감지하기 어렵다. 따라서 후방산란전자만으로 얻을 수 있는 고유 정보는 시료 내 조성 차이이다.
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