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1[금속재료기사 필기] 22년 1회차
진공증착법과 비교한 음극 스퍼터링에 대한 설명으로 틀린 것은?
1
음극 스퍼터링은 전류량과 생성피막의 두께가 정비례하므로 두께 조절이 쉽다.
2
음극 스퍼터링은 진공증착법 보다 저진공에서 가능하다.
3
음극 스퍼터링은 스퍼터 입자의 수가 많아서 도금속도가 빠르다.
4
음극 스퍼터링은 튕겨진 입자가 큰 운동에너지를 가지고 있어서 막이 치밀하고 밀착도 좋다.
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