고체표면의 원소 성분을 정량하는데 주로 사용되는 원자 질량분석법은? | [화학분석기사 필기] 15년 2회차 기출문제 상세 페이지

고체 시료의 표면에 존재하는 원소를 정성·정량 분석하는 대표적인 원자질량분석법은 이차이온 질량분석법(SIMS)과 레이저 마이크로탐침 질량분석법(LAMMA)이다.
이차이온 질량분석법은 고에너지 1차 이온빔을 시료 표면에 조사하여 스퍼터링으로 튕겨 나오는 2차 이온을 질량분석기로 검출하며, 레이저 마이크로탐침 질량분석법은 펄스 레이저로 시료 표면의 미세 영역을 증발·이온화시켜 발생한 이온을 분석한다. 두 방법 모두 빔이나 레이저가 닿는 아주 얇은 표층만 소모하므로 국소 영역의 원소 조성을 매우 높은 감도로 얻을 수 있다.
반면 글로우 방전 질량분석법은 방전으로 시료를 비교적 깊은 곳까지 깎아내며 이온화시켜 고체 전체의 미량 성분을 분석하는 데 주로 쓰이므로, 표면 성분 정량을 목적으로 하는 방법으로 함께 묶이지 않는다.