다음 중 반도체용 초고순도 분위기 가스 중의 초미량 수분함량을 측정하는… | [가스기사 필기] 24년 2회차 기출문제 상세 페이지
1[가스기사 필기] 24년 2회차
다음 중 반도체용 초고순도 분위기 가스 중의 초미량 수분함량을 측정하는 분석기기로서 가장 낮은 농도의 측정에 사용되는 것은?
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P2O5 celltype 수분계
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적외선 분광분석계(FT-IR)
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대기압 이온화질량분석계(APIMS)
4
광학식 노점계(chilled mirror type hygrometer)
해설
반도체용 초고순도 분위기 가스 중의 초미량 수분을 가장 낮은 농도(ppt 수준)까지 측정할 수 있는 것은 대기압 이온화질량분석계(APIMS)이다.
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