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1[화공기사 필기] 18년 3회차
반도체 제조과정 중에서 식각공정 후 행해지는 세정공정에 사용되는 piranha 용액의 주 원료에 해당하는 것은?
1
질산, 암모니아
2
불산, 염화나트륨
3
에탄올, 벤젠
4
황산, 과산화수소
해설
피라냐 용액(piranha solution)은 황산과 과산화수소를 일정 비율로 섞어 만드는 강력한 산화·세정액이다.
반도체 식각 공정 후 웨이퍼 표면에 남은 유기물·감광제 잔류물을 강하게 산화·제거하기 위해 사용하며, 두 물질이 반응하며 생기는 열과 강한 산화력이 세정 효과의 핵심이다.
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