반도체에서 Si의 건식식각에 사용하는 기체가 아닌 것은? | [화공기사 필기] 20년 3회차 기출문제 상세 페이지
1[화공기사 필기] 20년 3회차
반도체에서 Si의 건식식각에 사용하는 기체가 아닌 것은?
1
CF4
2
HBr
3
C6H6
4
CClF
해설
Si 건식식각에는 CF₄, HBr, CClF 같은 할로겐 계열 기체가 반응성 라디칼·이온을 만들어 식각제로 쓰인다.
반면 C₆H₆(벤젠)은 할로겐을 포함하지 않는 방향족 탄화수소로, 실리콘 건식식각 공정에 쓰이는 기체가 아니다.
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