반도체에서 Si의 건식식각에 사용하는 기체가 아닌 것은? 상세 페이지

1[화공기사 필기] 20년 3회차

반도체에서 Si의 건식식각에 사용하는 기체가 아닌 것은?

CF₄

HBr

C₆H₆

CClF

해설

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