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반도체 제조과정 중에서 식각공정 후 행해지는 세정공정에 사용되는 piranha 용액의 주원 상세 페이지

1[화공기사 필기] 22년 2회차
반도체 제조과정 중에서 식각공정 후 행해지는 세정공정에 사용되는 piranha 용액의 주원료에 해당하는 것은?
1
질산, 암모니아
2
불산, 염화나트륨
3
에탄올, 벤젠
4
황산, 과산화수소
해설
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