화학2부

1.&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;다음은 반도체 제조공정 중에 한 공정에 대한 설명입니다. 어떤 공정에 대한 설명인지 써 보시기 바랍니다. (4점)1)&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;(&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;)은/는 stepper를 사용하여 mask에 그려진 회로 패턴에 빛을 통과시켜 PR막이 형성된 웨이퍼위에 회로 패턴을 사진찍는 공정이다.2)&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;(&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;)은/는 회로 패텬을 형성시켜 주기 위해 화학물질이나 반응성 gas를 사용하여 필요 없는 부분을 선택적으로 제거 시키는 공정이다.&nbsp;노광&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;식각&nbsp;&nbsp;&nbsp;

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