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수정 또는 유리로 만들어진 것을 이용한 것으로 광파간섭현상을 이용하여 평면도를 측정한다. 특히, 마이크로미터의 측정면에 대해 평면도 검사가 가능한 기기로 가장 적합한 것은?옵티컬플랫(광선정반)- 수정 또는 유리로 만들어진 것을 이용한 것으로 광파간섭현상을 이용하여 평면도를 측정한다. 특히, 마이크로미터의 측정면의 평면도 검사에 사용된다.다이얼게이지- 측정자의 직선 또는 원호운동을 기계적으로 확대하여 그 움직임을 지침의 회전변위로 변환하여 눈금으로 읽을 수 있는 길이측정기로 진원도, 평면도, 평행도, 축의 흔들림, 원통도 등을 측정할 수 있다.오토콜리메이터- 시준기와 망원경을 조합한 광학적 측정기로 미소각을 측정할 수 있다. 또한, 직각도, 평면도, 평행도, 진직도 등을 측정할 수 있다.공구현미경- 피측정물을 확대관측하여 나사의 호칭지름(바깥지름), 안지름, 골지름, 유효지름, 피치, 각도, 중심거리, 테이퍼 등을 측정한다.

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