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CVD 설비는 어떤 역할을 하나요?CVD는 화학기상증착 설비로 고순도 폴리실리콘을 만드는 핵심 장치입니다. 실란 가스를 고온에서 분해해 반응기 내부에 실리콘을 증착시키는 방식인데 이 과정에서 고온과 고압 환경이 유지되기 때문에 정비 측면에서는 반응기의 내열 상태, 가스 누출 , 밸브 및 센서 이상 여부를 꾸준히 점검하고 관리하는 것이 중요합니다.

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