산화규소는 폐암 등의 발암성이 확인된 유해인자이다. 종류에 따른 호흡성 분진의 노출기준을 상세 페이지

결정체 산화규소 중 트리폴리의 호흡성 분진 노출기준은 $0.1\,\mathrm{mg/m^3}$이다.
결정체 산화규소는 발암성 때문에 호흡성 분진 노출기준이 매우 낮게 설정되어 있는데, 같은 결정체라도 석영, 크리스토발라이트, 트리디마이트는 이보다 더 엄격한 $0.05\,\mathrm{mg/m^3}$이므로 석영을 $0.1\,\mathrm{mg/m^3}$, 트리디마이트를 $0.5\,\mathrm{mg/m^3}$로 연결한 것은 맞지 않는다.
비결정체 산화규소(규조토, 침전 실리카 등)는 결정체에 비해 독성이 훨씬 낮아 노출기준이 결정체보다 크게 높게 설정되므로, $0.01\,\mathrm{mg/m^3}$이라는 값은 성립하지 않는다.