모두CBT
NA 0.5인 무수차 원형개구 광학계가 파장 193nm의 빛으로 결상할 때, Strehl ratio가 0.8 이상인 defocus 범위는?
-48.25 ~ +48.25nm
-96.5 ~ +96.5nm
-196 ~ +196nm
-386 ~ +386nm
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